环境型原子力显微镜 AFM5300E

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原子力显微镜

日立

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特点

1. 环境控制功能(大气，真空，液体，温控等)

AFM5300E能够实现高真空的测试环境，最大限度减小样品表面吸附水对测试的影响，实现精确的物理特性测量。真空环境下可以实现更大范围的温度控制。

(专利3857581号、专利3926638号)

• 大气中　• 液体中　• 真空中　• 特殊气氛(流量控制)

• 温度控制加热・冷却(-120～300℃)　高温(室温～800℃)

• 湿度控制(0～80%)

2. 简便操作(综合型Holder Flange)

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』，样品和扫描器更換更为方便的同时，免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。也省去测试模式切换时的支架更換环节。

3. 卓越的高性能

采用了『Swing Cancel功能』，减轻了样品的浮动，降低了漂移。提高了纳米分析性能，提升了可信度。

4. 通过减轻表面吸附水的影响，提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响，因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

规格

分辨率	原子相
样品尺寸	20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围	X-Y stage 5 mm
扫描范围	标准： 20 µm□/1.5 µmH • 150 µm□/5 µmH • 15 µm□/1.5 µmH（闭环差控制）定位显微镜 • 简易显微镜（×200倍） • 光学显微镜（×1000倍） • 变焦显微镜（×700倍） • 金相显微镜（装有微分干渉）（×2000倍）
检测功能	• AFM（接触模式） • DFM（轻敲模式） • PM（相位） • FFM（摩擦） • MFM（磁力） • SIS模式 • LM-FFM（横向摩擦） • VE-AFM/DFM（粘弹性） • Adhesion（吸附力） • CURRENT（电流） • SSRM（扩展抵抗） • SNDM（非线性介电常数） • PRM（压电响应）、KFM（表面电位） • 液体中AFM/DFM • EC-AFM/STM • NanoIndentation（硬度） • Nano-TA（微区加热）
选配件	高温加热样品台加热冷却兼用样品台冷却真空温度控制