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环境型原子力显微镜 AFM5300E

产品详情

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环境型原子力显微镜 AFM5300E

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产品描述
参数

特点

1. 环境控制功能(大气,真空,液体,温控等)

AFM5300E能够实现高真空的测试环境,最大限度减小样品表面吸附水对测试的影响,实现精确的物理特性测量。 真空环境下可以实现更大范围的温度控制。

(专利3857581号、专利3926638号)

• 大气中 • 液体中 • 真空中 • 特殊气氛(流量控制)

• 温度控制 加热・冷却(-120~300℃) 高温(室温~800℃)

• 湿度控制(0~80%)

 

2. 简便操作(综合型Holder Flange)

通过采用『综合型Holder Flange开合功能』,样品和扫描器更換更为方便的同时,免去了以往环境型SPM的样品更換后的所需的光轴调整。 也省去测试模式切换时的支架更換环节。

 

3. 卓越的高性能

采用了『Swing Cancel功能』,减轻了样品的浮动,降低了漂移。提高了纳米分析性能,提升了可信度。

 

4. 通过减轻表面吸附水的影响,提高了电气性能的检测精度

真空环境下减轻样品表面吸附的水分和污染物的影响,因而实现高分辨高灵敏的电学性能分析。

 

规格

分辨率 原子相
样品尺寸 20 mmφ、厚度10 mm (用配件厚度扩展至20 mm)
样品移动范围 X-Y stage 5 mm
扫描范围 标准: 20 µm□/1.5 µmH
• 150 µm□/5 µmH
• 15 µm□/1.5 µmH(闭环差控制) 
定位显微镜 • 简易显微镜(×200倍) 
• 光学显微镜(×1000倍) 
• 变焦显微镜(×700倍)
• 金相显微镜(装有微分干渉)(×2000倍)
检测功能
  • • AFM(接触模式)
  • • DFM(轻敲模式)
  • • PM(相位)
  • • FFM(摩擦)
  • • MFM(磁力)
  • • SIS模式
  • • LM-FFM(横向摩擦)
  • • VE-AFM/DFM(粘弹性)
  • • Adhesion(吸附力)
  • • CURRENT(电流)
  • • SSRM(扩展抵抗)
  • • SNDM(非线性介电常数)
  • • PRM(压电响应)、KFM(表面电位)
  • • 液体中AFM/DFM
  • • EC-AFM/STM
  • • NanoIndentation(硬度)
  • • Nano-TA(微区加热)
选配件 高温加热样品台 
加热冷却兼用样品台
冷却真空
温度控制

 

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