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扫描电子显微镜 FlexSEM 1000

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产品编号
所属分类
扫描电镜
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1
产品描述
参数

“先进的SEM更为紧凑”

宽幅仅为45 cm的紧凑型的设计,仍具备4.0 nm的图像分辨率。

全新开发的用户界面和电子光学系统让您深切体验其高性能。

 

特点

• 紧凑型设计,分辨率为4 nm*1

• 通过高灵敏度二次电子探测器,背散射探测器,低真空探测器(UVD*2),实现低加速电压/低真空下高质量图像观察

• 操作简捷,即使新手也能拍出高质量的图片

• 新开发的导航功能「SEM MAP」,便于快速锁定视野

• 大窗口(30 mm2)SDD能谱系统,便于快速分析元素成分*2

*1设置在桌面时,分离主机和电源箱

*2选配

 

规格

项目 内容
  FlexSEM 1000 FlexSEM 1000 II
分辨率*3 4.0 nm(二次电子像、加速电压:20 kV、高真空模式)
15.0 nm(二次电子像、加速电压:1 kV、高真空模式)
5.0 nm(背散射电子像、加速电压:20 kV、低真空模式)
加速电压 0.3 kV~20 kV
倍率 ×6~×300,000 (照片倍率)
×16~×800,000 (显示器显示倍率)
低真空设置 6~100 Pa
电子枪 集中灯箱(Pre-Centered Cartridge Filament)
样品台 3轴马达驱动样品台
X:0~40 mm、Y:0~50 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
3轴马达驱动样品台
X:0~50 mm、Y:0~40 mm、Z:5~15 mm
T:-15~90°、R:360°
最大样品尺寸 直径80 mm
最大样品高度 40 mm
尺寸 机体:450(宽度)×640(进深)×690(高度) mm
电源盒:450(宽度)×640(进深)×450(高度) mm
选项
  • 高敏感度低真空检测器(UVD)
  • 能量色散型X射线检测器(EDS)
  • 高敏感度低真空检测器(UVD2.0)
  • 能量色散型X射线检测器(EDS)
软件 Zigzag(连续视野图像导入功能) Multi Zigzag(连续视野图像导入功能)
*3
机体和电源盒连接时候
*
PC、桌子、监控器由客户准备
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