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超高分辨肖特基场发射扫描电镜 SU7000

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所属分类
扫描电镜
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产品描述
参数

核心理念

1.采用优异的成像技术

SU7000可以迅速获取从大视野全貌图到表面微细结构等多种检测信号。全新设计的电子光学系统和检测系统,使得装置可以同时接收二次电子和背散射电子等信号,用户可以在短时间内获得更全面的样品信息。

2.采用多通道成像技术

随着用户对成像需求的不断增长,SU7000特新增了几种探测器,还引进了相应的成像功能。SU7000最多可同时显示和保存6通道信号。实现了获得样品信息的最大化。

3.支持不同形状样品、多种观察方法

・大型样品观察

・低真空观察

・超低温观察

・实时观察

等所需的样品仓和真空系统都十分完备,观察方法也是一应俱全。

4.支持微纳解析

采用肖特基发射电子枪,最大束流可达到200 nA,适用于各种微纳解析。样品仓形状和接口设置支持EDX分析、EBSD、阴极荧光分析等,接口设备可通过选配附件满足各种特殊需求。

 

成像能力

追求信息最大化的检测系统

随着用户对样品数据的需求更加多元化,对检测系统在短时间内捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的检测系统可以在不改变WD等条件的前提下,更高效地获取形貌、成分、晶体学以及发光等信息。真正实现了更快速、更全面的信息收集。

同一条件观察

样品:包裹有机物的金属棒样品提供:Vassar College, Chemistry Dept.Mr. Smart and Ms. Pineda

通过UD、MD、LD探测器同时采集信号的应用实例 (加速电压:1 kV)

通过UD、MD、LD探测器可以同时采集信号,UD可获取表面微细形状信息,MD可获取表面有机物包覆状态信息,LD可获取整体凹凸形貌信息。在同一个条件下,实现了获取信息的最大化。

 

采用可多通道显示的GUI设计

优化信号显示功能

成像单元在信号显示上也作了全新升级。

用户可根据观察需求,选择不同的视场角和通道数。

单屏最多可同时显示4通道信号。

导航功能(SEM MAP)可以轻松捕捉到显示样品仓内信息的CCD相机图像和相机拍摄到的样品图像,快速显示目标图像。

使用双屏显示时,可在一个显示屏上双通道显示1,280×960像素的图像,另一个显示屏专门用来显示信号,最多可同时显示6通道信号。

高自由度的界面布局

使用单屏时,可以单通道、双通道、四通道显示样品信息,也可以显示CCD相机图像、样品台图像/SEM MAP图像等。而且操作画面上的工具栏可以任意移动、添加和删除。


支持双屏显示

1st显示屏专门用来显示图像,2nd显示屏用来显示操作面板画面。上图左图(1st显示屏)是通过SU7000观察到的钢铁中非金属夹杂物的图片。图中清晰呈现出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5个探测器捕捉到的图像以及SEM MAP图。右图(2nd显示屏)将操作面板菜单和图像历史记录窗口在同一个画面中显示,界面布局清晰明了。在实现实时监控图像的同时,操作性能也得到了进一步提升。

 

可扩展观察和分析方法

样品仓和马达台

样品仓外观

标配18个附件接口

马达台外观

XY轴可移动距离为135×100 mm

 

 

样品仓可搭载最大直径为φ 200 mm;最高80 mm的样品。大开仓设计,标配18个附件接口。样品台可搭载XY轴最大移动距离为135×100 mm,最重2 kg的样品。搭载大型样品和功能样品台完全不成问题。

相机导航功能(*)

通过相机拍摄样品            将相机拍摄到的图像显示到SEM MAP画面上进行导航

SU7000可选配导航相机(*),迅速锁定要观察的位置。相机安装在样品仓内,插入样品后,可半自动拍摄样品的整体图像。该图像会被显示到导航画面(SEM MAP)窗口,因此,用户可以观察窗口中的图像判断位置。最大适用尺寸为φ 100 mm。

(*)可选配相机。

支持动态观察的检测系统

SU7000可用于环境改变的动态观察。低真空观察时,可以选用PD-BSED(背散射电子探测器)、UVD、MD等各种探测器(**)。

低真空环境的探测器选择

左图为通过MD(背散射电子),右图为通过UVD(二次电子)探测器观察到的金属氧化物纤维的情况。两张图分别清晰地呈现出氧化物的分散状态和纤维的堆积情况。

PD-BSED:响应速度提高

左图是以一般的响应速度,约每两秒扫描一次得到的图像;右图抑制了图像的漂移,使得整体的画质得到了大幅提升。随着响应速度的提高,更适用于In-Situ观察。

(**)可选配PD-BSED、UVD。

项目 内容
图像分辨率 二次电子分辨率 0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率 20~2,000,000 x
电子枪 发射体 ZrO/W热场发射(肖特基热场发射)
加速电压 0.1~30 kV (步进:0.01 kV)
束流 最大200 nA
探测器 标准探测器 UD (上探测器)
MD (中探测器)
LD (下探测器)
选配探测器*1 PD-BSED (半导体式背散射电子探测器)
UVD(高灵敏度低真空探测器 )
低真空模式*1 样品仓压力范围 5~300 Pa
可使用探测器 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
马达台 马达台控制 5轴马达驱动
移动范围 X 0~135 mm
Y 0~100 mm
Z(WD) 1.5~40 mm
T(倾斜角) -5~70°
R(旋转角) 360°
样品尺寸 最大直径:φ200 mm, 最大高度:80 mm
显示器*1 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持双屏
图像显示模式 全屏显示模式 1,280×960像素显示
单屏显示模式 800×600像素显示
双屏显示模式 800×600像素显示、1,280×960像素显示 *2
四屏显示模式 640×480像素显示
六屏显示模式*2 640×480像素显示 *2
图像数据保存 保存图像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
选配附件 能谱仪(EDX)
X射线波谱仪(WDX)
电子背散射衍射(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
冷冻传输系统
各种功能样品台
*1为选配项。
*2支持双屏显示。
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